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    vaisala半導(dǎo)體折光儀 PR-33-S探頭

    vaisala半導(dǎo)體折光儀 PR-33-S探頭,可監(jiān)測潔凈室環(huán)境和集成工藝工具(混合、清潔、蝕刻和 CMP)中晶圓廠

    化學品的濃度。

    • 產(chǎn)品型號:
    • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
    • 更新時間:2023-11-22
    • 訪  問  量:539
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    詳細介紹


    vaisala半導(dǎo)體折光儀 PR-33-S探頭


    緊湊型折光儀,采用超純改性PTFE流通池主體,適用于半導(dǎo)體液體化學過程。通過 1/4 — 1 英寸的立柱或擴口接頭連接

    到工藝。

    vaisala K-PATENTS® 半導(dǎo)體折光儀 PR-33-S 可監(jiān)測潔凈室環(huán)境和集成工藝工具(混合、清潔、蝕刻和 CMP)中晶

    圓廠化學品的濃度。


    設(shè)計

    PR-33-S 由一個超純的改性 PTFE 流通池主體和一根以太網(wǎng)電纜組成,任何標準 PoE(以太網(wǎng)供電)交換機都可以使用

    該電纜將電力傳輸?shù)絺鞲衅鞑?shù)據(jù)傳輸?shù)接嬎銠C。PR-33-S 實時監(jiān)測化學品濃度,并在化學品超出規(guī)格時提供以太網(wǎng)

    輸出信號和即時反饋。例如,可以配置低濃度和高濃度警報來控制和延長浴槽壽命。濃度是通過對溶液的折射率nD和

    溫度進行光學測量來確定的。

    PR-33-S 直接與喇叭口或支柱配件在線安裝。PR-33-S 結(jié)構(gòu)緊湊,不含金屬,占用空間很小。


    關(guān)鍵要素

    N.I.S.T. 可溯源校準,使用標準 RI 液體進行驗證,并經(jīng)過驗證的程序。

    獲得CORE光學器件(美國號)US6067151)。

    通過以太網(wǎng)的遠程面板,用于數(shù)據(jù)記錄和遠程操作。

    通信由標準 UDP/IP 協(xié)議構(gòu)建。

    過程溫度范圍:-20°C – 85°C (-4°F – 185°F)。

    通過內(nèi)置 Pt1000 和自動數(shù)字溫度補償實現(xiàn)快速過程溫度測量。

    PR-33-S-3.png


    主要優(yōu)勢

    全數(shù)字化設(shè)備

    vaisala  K-PATENTS® 半導(dǎo)體折光儀 PR-33-S 用于過程控制和監(jiān)測,并提供連續(xù)的以太網(wǎng)輸出信號。設(shè)計緊湊,

    設(shè)備直接在線安裝。


    在整個范圍內(nèi)進行準確穩(wěn)定的測量

    折射率 nD 1.3200–1.5300 的全測量范圍,相當于 0-100% 重量。可選范圍 nD 1.2600–1.4700 用于強 HF。 

    典型精度 R.I.+ 0.0002,通常相當于 0.1%(重量),例如水中的 HCl。

    測量不受 PPM 范圍內(nèi)的顆粒、氣泡、湍流或雜質(zhì)的影響。


    易于維護

    無漂移。無需重新校準。無需機械調(diào)整。


    技術(shù)數(shù)據(jù)

    折射率范圍 1.3200...1.5300

    準確度 ± 0.1%

    響應(yīng)時間 1s

    工藝溫度 -20°C (-4°F)...85°C (185°F) 

    環(huán)境溫度:-20°C (-4°F)...45°C (113°F)

    保護等級 IP67

    重量 1.2 kg 

    消耗功率  1W


    vaisala半導(dǎo)體折光儀 PR-33-S探頭

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