Leybold帶風冷密封封閉式電機的羅茨鼓風機

1、Leybold帶風冷密封封閉式電機的羅茨鼓風機RUVAC WS 

RUVAC WS 羅茨鼓風機由風冷或水冷封閉式電機驅動。可用的變頻器已與泵匹配，因此排除了機械過載的可能性。在壓差過高的情況下，泵的轉速會自動降低，直到其負載。RUVAC WSU系列羅茨真空泵配有額外的集成壓力均衡管路和壓差閥。這些系列的泵標配垂直泵送動作。

2、Leybold帶風冷密封封閉式電機的羅茨鼓風機RUVAC WS 結構

兩條風冷管路 WS/WSU，每條管路有四種泵尺寸

由風冷封閉式電機驅動的高度密封風冷泵

用礦物油潤滑（或者用LVO 400潤滑）

電機定子線圈中的過溫開關

所有彈性體密封件均由 FPM （FKM）/氟橡膠制成

帶壓差閥的集成壓力均衡管路可防止 WSU 型號過載（可選）

變頻器可用于在 251 至 2001 Hz 之間操作 RUVAC WS 20 至 100 泵

無軸通向大氣，因此特別密封

從垂直泵送到水平泵送動作的轉換可以從客戶的角度完成

3、提供設備

所需數量的油與泵單獨供應（例外情況除外）

如果沒有說明其他類型的油，則使用礦物油LVO 100作為標準配置

用氮氣吹掃，防腐蝕

進氣法蘭中的墊圈，帶集成式防塵篩

WAU/WSU/WHU 系列羅茨真空泵配有額外的集成壓力均衡管路和壓差閥。

4、應用

適用于需要在 10-2 和 10-4 mbar（0.75 x 10-2 和 0.75 x 10-4 Torr）壓力下實現高抽速的應用

用于必須避免因空氣進入或泵送介質泄漏而可能造成污染的地方

吸入或泵送高純度氣體

用于潔凈室，空氣不得通過電機風扇再循環

RUVAC羅茨鼓風機是建筑玻璃鍍膜行業的標準設備。結合成熟的油封SOGEVAC泵，它們在負載鎖腔室實現了最短的抽氣時間。結合干式壓縮 DRYVAC 和螺桿泵，它們可確保工藝腔室的干燥、可靠真空。

RUVAC羅茨鼓風機用于許多應用中，以實現盡可能短的循環時間，例如在需要快速抽真空的地方，例如，在支撐負載鎖定室或高速食品包裝中。

RUVAC羅茨鼓風機在氣相沉積過程之前抽真空燈和絕緣表面時，可快速達到低于10-3毫巴的壓力。

RUVAC鼓風機還用于制造硅單晶的單晶拉拔設備，硅單晶是制造半導體和太陽能電池的基本材料。我們很樂意為您提供廣泛的產品和應用支持以及專業知識。